五大主流智能手环MEMS传感器盘点

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　　传感器型号：MPU-6500

　　InvenSence公司的传感器MPU6500，它集成了3轴陀螺仪及3轴加速度计。InvenSence采用体硅工艺，MEMS芯片及ASIC芯片集成在3.0mm x 3.0mm x 0.9mm尺寸的封装内。

　　陀螺仪与加速度计MPU6500封装照：

　　陀螺仪与加速度计MPU6500 ASIC芯片全图：

　　陀螺仪与加速度计MPU6500 MEMS Sensor芯片全图：

　　MPU6500的MEMS Sensor芯片采用InvenSense的 Nasiri工艺，该工艺能够与标准CMOS工艺紧密结合，并且使用体硅技术实现主要MEMS结构。ASIC芯片与MEMS芯片采用晶元级铝锗建合。

　　相关资料下载：陀螺仪与加速度计MPU6500