小器件大创新 CMEMS技术撼动石英晶体振荡器百年“霸业”

　　台湾一个科学家做了一个实验：他请了50名志愿者看房间内所有蓝色的物体30秒。然后请他们闭上眼睛，问他们看到了多少个红色、绿色和黄色的物体？这下他们都傻眼了，因为他们只专注蓝色的物体，没有注意到其它颜色的物体。

　　其实，类似的情景在每个人身上几乎都会发生，我们总是习惯性地选择性忽视一些事物。发生在电子工程师身上的最新例证就是，CMEMS可编程振荡器凭借完全集成的、高可靠性的CMEMS（CMOS+MEMS）技术，实现了更小尺寸、更高可靠性、更佳抗老化性以及更高集成度和更短交付周期的单晶片（single-die）振荡器解决方案。然而，在由石英晶体（XO）解决方案垄断上百年的频率控制和定时产品市场中，工程师的惯性思维使得他们很难将目光从石英晶体振荡器（XO）移向他的小伙伴CMEMS可编程振荡器。

　　"现在，通过我们的不断努力，越来越多的工程师和厂商接受了CMEMS这种时钟产品，我们今年CMEMS产品的交货量预计会有非常显著的增长。"Silicon Labs（芯科实验室有限公司）在中国的核心代理商世强产品经理Steven Zhang 表示，"我们期待更多工程师能了解CMEMS可编程振荡器的独特优势，在更多的应用领域能撼动石英晶体振荡器百年‘霸业’。"

　　频率控制技术的演进

　　每年30亿美元的频率控制市场已经由石英晶体和基于石英的振荡器占据了几十年，几乎所有类型的电子设备都依赖一小片由机器加工的石英岩的作用去生成至少一种可能的操作频率。然而，基于石英的频率控制设计仍有很多限制。例如，他需要更专业化和复杂生产流程，长的、易变动的交付时间（几周到几个月）等。

　　为了克服石英晶体的这些缺点，在过去的五年里，微机电系统（MEMS）解决方案开始发展。MEMS技术最初源于对更小外形尺寸的追求，目前已呈现出其他显著的优势，包括交付时间、供应稳定性、产品可靠性、器件尺寸和性价比等，这些优势使基于MEMS的振荡器占有部分基于石英的频率控制市场。如下图1所示为频率控制技术的演进。

　　图1. 频率控制技术的演进

　　尽管MEMS谐振器技术已经解决了石英晶体的基本缺陷，但刚刚进入竞争激烈的频率控制市场，它也存在一些缺点。首先，MEMS器件小于石英晶体，所以无法提供更多能量到振荡周期。这意味着，在相同的频率下转换效率低，从而造成信噪比较差。第二，传统的MEMS材料，例如单晶硅、多晶硅，甚至聚硅锗，随温度变化的漂移显著，这会带来信号完整性和热滞问题。

　　2010年，Silicon Labs通过收购一家名为Silicon Clocks的公司，获得了在大批量生产中把MEMS架构直接构建于标准CMOS晶圆上，实现完全集成的、高可靠性的CMEMS技术。"在标准CMOS芯片上集成高精度振荡器的梦想，已经由Silicon Labs公司和他们最新推出的Si50x CMEMS振荡器系列变为现实。"Steven Zhang 表示。

　　CMEMS技术是频率控制市场的重要技术进步。通过结合MEMS和CMOS两者的最好特性，CMEMS可编程振荡器能够为成本和功耗受限的嵌入式、工业和消费类电子应用提供最佳的通用型振荡器解决方案。

　　CMEMS相比XO的优势

　　相比传统的石英晶体振荡器（XO），Si50x CMEMS可编程振荡器主要有下面这些优点：

　　1、针对成本、空间和功耗敏感型应用的通用振荡器；

　　2、定制样片交付时间少于2周；

　　3、直接替换晶体振荡器 （XO） ；

　　4、在客户现场使用现场编程器立即定制样片；

　　5、高稳定性和可预见性供应链；

　　6、在全温度范围、撞击、震动等环境下，具有10年的高稳定频率输出；

　　7、性能与XO相比，在震动、撞击、温度和老化环境下更可靠。

　　传统的石英供应链复杂、高成本，且低效率。他们高定制化的制造流程（几周到几个月的交付时间）不仅增加供应链的管理难度，同时还限制参考振荡器产生的频率范围。随着计算、通信和网络装置的数据速率的增长，这种限制对提供高质量高频时钟信号时钟的合成将产生更多压力。CMEMS工艺流程极大简化了供应链。大大缩短交付时间（小于2周）和从kHz到GHz输出频率的无限可编程性。

　　图2. CMEMS定制样片交付时间少于2周

　　"更好的谐振器等于更好的稳定性，CMEMS技术确保数据手册中的性能具有10年的频率稳定性，包括焊接偏移、负载牵引、VDD变化、运行温度范围、振动和冲击，并保证操作寿命性能是其他公司XO和MEMS振荡器的10倍。" Steven Zhang说。

Si50x在全温度范围内具有高稳定的频率参考，传统的MEMS谐振器具有-30-40ppm/°C的频率漂移，而CMEMS频率漂移 《 ±1ppm/°C。与其它解决方案相比，温度稳定性高5-10倍。如下图3所示，