RF CO2激光电源类别与原理

制器［3］。连续工作时，将图2中S开关置于OFF关断位置。脉冲工作时，将S开关置于ON接通位置。脉冲调制的工作过程是：利用一个矩形脉冲序列的基带信号对振荡器晶体管V2的振荡幅度进行控制。由控制振荡电路的起振与停振达到调制的目的。由电位器RP4控制调制频率，由RP7控制脉冲宽度。所以，调制频率与调制脉宽皆可作到连续可调。

图2RF电路原理图

　　第5部分是阻抗匹配网络。负载阻抗匹配的目的是消除不匹配负载的反射。方法是引入电抗性元件（电容、电感或传输线）。人为地产生一个或数个反射波。使它与原来不匹配负载产生的反射波相互抵消。使激光器的输入阻抗与RF电源的输出阻抗互为共轭复数。匹配网络一般分为两种，一种是集总参数匹配网络，其主要形式有L型、T型、π型等［3］。这种匹配网络的主要缺点是：插入耗损大、噪声大、体积大。另一种是分布参数匹配网络，是1/4波长传输线，这就克服了上述集总参数匹配网络的缺点。它的理论关系比较简单。由传输线任一点上的电压和电流方程即可方便地导出下列1/4波长（或1/4波长奇数倍）阻抗交换方式为：　Z0=（10）

　　式中Z1——电源输出的阻抗；

　　Z2——激光器输入的阻抗；

　　Z0——1/4传输线的特性阻抗。

　　1/4传输线采用SYV－50－3电缆。它一端接电源，另一端接激光头。该RF电源如作积木式结构应用，同时可满足输出激光30W，60W等激光器的需要。

　　4结束语

　　最后是关于激光头的准电感谐振技术。为了使输入射频沿激光器长度，电压分布均匀，加入一对电感并联在谐振腔上下电极之间。这样，由于电感负导纳的补偿作用，使激光器沿长度上的驻波比大大下降，失配角小于9°，理论计算结果电压不均匀度小于3％。

　　有关过流、过压、过热保护电路、显示电路、安全延时电路、自诊断等辅助电路，本文不再一一赘述。