基于ARM的高分辨率压电陶瓷驱动电源设计方案

映出输出值相对于输入真值的偏差程度。

　　线性度曲线如图11所示。得到拟合直线Yfit=9.846Vin+0.024 2，最大非线性误差为0.024%，能够满足精密定位需求。

　　5 结论

　　本文设计的基于ARM的高分辨率压电陶瓷驱动电源的方案，该方案采用直流放大原理，具有低电路噪声、高分辨率和低输出非线性度等特性，同时驱动电源的带宽可达100 kHz.以上特性使本方案的压电驱动电源能够应用于纳米级静态定位的需求，由于其性价比高、结构简单，故具有很高的实用价值。而实验结果也表明：本方案所设计的电源输出电压噪声低于0.43 mV、输出最大非线性误差低于0.024%、分辨率可达1.44 mV，能够满足高分辨率微位移定位系统中静态定位控制的需求。