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低压驱动的RF MEMS开关设计与模拟

时间:09-09 来源:互联网 点击:

,一定程度上满足了设计初衷,但在工艺上还不成熟。更低的驱动电压和更高的开关频率仍是亟待解决的问题,另外如何保证实际产品的可靠性、实用性也是未来的研究重点。

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