菲尔斯特的MEMS微机电技术和MPT微组装工艺

对应输出的毫伏数送给程控电源，待采集到的数据稳定后，将采集缓冲区数据读到计算机内存，记录保存。通道校验完成后，计算通道斜率、截距、标准偏差、相关系数，并显示校验结果，将校验数写入采集数据库，保存至自校文件中，当保存文件名在当前目录中存在时，程序将原文件备份后保存文件。自动校准完成。

三、优异的感应（弹性）结构设计

硅压阻式微传感器的压力灵敏度除与硅膜片的厚度、大小、压敏电阻阻值大小有关外，还与电阻在硅膜片的分布方位及在硅膜片上的位置有关。通过有限元分析，Firstrate的研究人员分析了压敏电阻构成的电桥电路其输出电压灵敏度与电阻所处位置和方向的关系，求出传感器的压力灵敏度极值及其条件；分析了电阻的纵向压阻系数和横向压阻系数与方向的关系，并求出其极值，找出了线性与输出值综合最优的位置。

要保证压力传感器长期稳定，如何提高传感器的过载能力显得尤为重要。利用有限元分析法，Firstrate的工程师们在保证传感器满量程范围内线性响应的前提下，调整牺牲层厚度，通过弹性膜片与衬底的适当接触，有效的提高了传感器的过载保护能力。使产品达到300%FS过压自恢复，500%FS破坏压的能力。