圆片级测试MEMS器件的解决之道

一的压力容器探测系统。

　　最近，MEMUNITY完成了协同PAR-TEST项目的工作，该项目的研究目标是定义MEMS器件生产中所用材料的特性，使工程人员可以利用这些特性。更明确的是，人们研究了一些高级测量技术，能够使工程人员判断出MEMS器件生产中所用材料的质量参数——这些参数对于工艺控制是非常关键的。

　　MEMUNITY协同的PAR-TEST项目的一项成果是开发出了一种集成式圆片级MEMS器件测试系统，该系统采用了一种活动的膜片（membrane），例如在压力传感器中。该测试系统是一种半自动探测系统（SUSS PA200），具有精确、自动的定位和圆片绘图功能，通过一个静电探针卡驱动膜片，利用一个激光多普勒计（Polytec MSA-500）测量面外（out-of-plane）运动。通过测量本征频率可以提取到该膜片的特征参数，所得到的数据结果用于优化器件设计和制造工艺，以及确定好坏的管芯测试。