MEMS微针阵列及其在生物医学上的应用

以小于1Lm的精度进行几百微米至1毫米的深度加工， 可加工多种材料， 如金属、陶瓷、玻璃、塑料， 及这些材料的结合物等， 突破了半导体加工技术对材料和深度的限制。LIGA工艺的关键是要用X射线同步辐射光源， 而同步辐射光源价格昂贵， 使其应用受到了限制。

最近根据LIGA工艺的优缺点， 研制出一种新的技术， 准LIGA工艺。其工艺过程和LIGA基本相同， 只是不需要同步放射X线源， 而利用常规紫外光刻设备和掩膜在光敏材料上光刻形成模子， 再电铸金属形， 因此也称UV-LIGA。这样， UV-LIGA的成本大大降低。我们可以考虑用该工艺方法来实现高深宽比的微针结构。预计UV-LIGA在不久发展成熟会成为极具活力的工艺方法。

4 结束语

基于MEMS工艺的生物医学微针阵列可以广泛应用于生物医学测量， 药物传送， 微流体采样等领域， 它具有尺寸小， 强度高， 用材具有生物兼容性等特点， 从而减少刺入位置的损伤， 给患者提供了更好的运动自由性， 实现无痛， 可以精确控制刺入的深度， 阵列便于重叠封装入仪器设备， 给生物医学领域注入了极大的活力， 为患者提供无痛、高效、安全的医疗手段， 更符合医学研究人性化的特点。微机械工艺技术的高速发展使微针制造工艺更加完善， 根据需要设计最优化结构的微针， 以满足各个方面的需要。基于MEMS生物医学微针阵列是具有很大潜力的一种生物医学方法， 值得进一步研究。