一种电感式位移传感器的电路系统设计

线性测量范围

　　左齿面： 312~51112μm;

　　右齿面： 411~50717μm.

　　3) 零位电压值偏移量

　　左齿面： 41412 mV;

　　右齿面： 51027 mV.

　　实验数据表明测头电路系统测量精度较高，线性测量线性范围大( ±500 μm) , 满足891EA齿轮测量中心的测量需求。

　　4 结论

　　该电路系统可将测头所检测的细微位移量经过一系列信号调整及滤波、放大，转换为相应的直流电压信号。经过测头标定试验验证，证明该系统测量精度高、线性测量范围大、测量安全性能好，满足891EA齿轮测量中心的测量要求。