智能手环五大主流MEMS传感器盘点
时间：02-19
来源：互联网
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加速度计MPU6500 MEMS Sensor芯片全图：
MPU6500的MEMS Sensor芯片采用InvenSense的 Nasiri工艺，该工艺能够与标准CMOS工艺紧密结合，并且使用体硅技术实现主要MEMS结构。ASIC芯片与MEMS芯片采用晶元级铝锗建合。
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