基于线阵CCD的光电玻璃测厚方法研究

由图5中有公式(5)：
d=x-x1cosα1-x2cosα2 (5)
对(5)式中的x-x1cosα1、x2cosα2以及x测定。实际应用中因玻璃是透明体，为了避免传感器所发射激光束相互干扰，两个线阵CCD传感器在垂直方向装配时需错开几毫米。
方法特点：1)可有效克服传感器位置偏移、玻璃抖动等因素造成的对玻璃厚度测量的影响。2)受外界环境温度影响较位严重，在退火炉热端进行测量时，测厚系统必须有冷却装置才能正常工作。

3 结束语
文中分析了透射式测厚法、单激光反射式测厚法、双激光反射式测厚法的原理及性能特征。利用线阵CCD传感器作为光电转换器件结合光三角法，采用激光透射式，单激光反射式、双激光反射式测量玻璃厚度，具有高速度、小型化、高精度、非接触等优点。其与传统玻璃测厚方法比较：稳定度、灵敏度及准确度等方面都有了显著的提高，具有一定应用价值。