自动特征分析套件 (ACS) 测试系统将圆片级可靠性测试速度提高五倍
rmal和Weibull。用户可以很方便地对模型进行重新组织和编辑,创建新的分析过程。利用内置脚本语言,用户还可以轻松定义出自己的模型。这种可靠性测试的公式化工具具有各种先进功能,包括建模、线性拟合、标准参数提取和支持用户数据处理标准数学函数。
离线测试项目开发和数据分析
ACS 4.0测试执行程序和数据分析选件都支持离线安装功能(即安装在没有连接源测量硬件的PC机上)。对于多个用户或部门共享同一套ACS硬件的测试环境,这种架构支持用户方便地使用该软件工具构建测试序列,离线检查和分析数据,而不必占用测试系统工作站。在用户购买数据分析选件时,将同时提供额外的license,允许用户进行多个离线安装;ACS测试执行程序不需要额外的license即可离线安装。
灵活的硬件配置
ACS 4.0还能够驱动不包含2600系列数字源表,仅仅由4200-SCS半导体特征分析系统(或者两者兼有)构成的测试系统。利用集成为一个系统的各个仪器的独特功能,可靠性测试工程师可以将高速、每管脚SMU的灵活性(2600系列)与大功率脉冲I-V测试功能(4200-PIV)结合起来,实现界面陷阱特征分析和恒温行为测试,这在最新的栅层叠技术中是很常用的。一般而言,4200-SCS通常应用于可靠性实验室,而2600系列的高速特性对于工艺开发、工艺集成和工艺检测应用是非常宝贵的。集成2600和4200-SCS两类仪器的ACS系统允许工程师在两种条件下使用相同的特征分析工具,从而大大简化了器件从实验室研发向批量生产的转变。
吉时利ACS测试系统能够与WLR测试中常用的各种硬部件协同工作,包括常见的圆片探测器和探针卡适配器、热夹盘控制器、单点和多点探针卡、以及高温探测选件。
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