KEITHLEY推出ACS 3.2版自动特性分析套件软件

吉时利仪器(Keithley Instruments；NYSE:KEI)宣布推出3.2版的ACS (Automated Characterization Suite) 软件，支持半导体组件测试，以及组件、晶圆、晶舟层级特性分析的功能。全新推出的3.2版本加入了强大的多部位并行测试(multi-site parallel test)能力，大幅提升ACS整合式测试系统的自动化功能，除适用于晶粒分类与新型晶圆层级坐标定位等应用，也能支持Keithley新款具备1fA电流量测分辨率的Models 2635 与2636 System SourceMeter® 仪器。这些新功能组成一个符合高测试弹性与产能速度，且极具价格效益的测试解决方案，同时此方案也适用于实验室和生产设定等无人操作的环境。想进一步了解Keithley ACS整合测试系统，请浏览http://www.keithley.com/pr/070。

更高的弹性与产能速度

新型半导体技术要求花费更少的作业时间与资源、执行更多测试并具备更强数据收集的能力。为符合此一需求，不用针对个别生产线开发量测方案，而以一组现成软件套件即可驱动的电源量测单元(SMUs)，仍是最具成本效益也最具弹性的选择。Keithley新发表的3.2版自动化特性分析套件(Automated Characterization Suite, V3.2)，即为一套完备的软件套装，且包含许多现成的应用程序，能与Keithley Model 4200-SCS、2600系列 System SourceMeter instruments以及其它SMU架构的系统完美搭配，有效缩短产品上市时程同时减省整体测试成本。

多组件(Multi-site)测试

多组件测试的整合性结果筛选，需要许多特殊功能来管理从晶圆定位到输出分类档案等测试工作流程。3.2版ACS 能针对晶舟层级进行自动化作业，支持更多无人操作的测试功能，收集大量的统计数据样本，进行模型建立与流程检验，提高工具的使用效率。ACS用一种逻辑与实体组件的定义方式，让系统能并行测试电路结构与组件。之后再透过测试执行流程，把测试结果对应到逻辑部位。并行测试的执行选择，仅须点选几次鼠标键，就能从序列测试模式切换至真的并行测试模式。
达成以上所述功能的关键技术就是2600系列 System SourceMeter 内建的Keithley TSP-Link™。晶圆级的坐标定位，让使用者能轻易移动到晶舟中的任何晶圆，检视每片晶圆的多色分类图(multi-color binning plot)。使用者仅须点选检视中的逻辑部位，结果就会立即标上分析参数，并在测试规划阶段加以套用。

晶粒分类测试应用

ACS在每片晶圆上能处理多达10万个晶粒，极具效率。其晶圆描述工具更支持图型缩放功能，能处理高晶粒数的晶圆。为进一步加快晶粒分类测试速度，ACS支持可编程的条件设定，当测试显示组件不符标准时，就省略后续的测试程序。探针测试程序可配合测试图样或实体进行最佳化，以提高探针与测试硬件的使用效率。2600系列与Model 4200-SCS所具备新型较大的参数化测试组件库能缩短测试的设定时间，使用者存取点(UAPs)功能让使用者能扩充Keithley测试执行引擎的功能与特色，包括产生分类档案(binning files)。

延伸支持

ACS 现加入支持2600系列System SourceMeter 单元的能力，并具备更高的电流灵敏度。其中包括单信道Model 2635 与双通道Model 2636，电流量测的分辨率降至1fA，来源电压可达200伏特。2600系列System SourceMeter仪器适合进行各种半导体组件可靠性测试，包括硅组件可靠性测试，像是负偏压温度不稳定性 (negative bias temperature instability, NBTI)。ACS 也支持测试结果的实时描绘功能：例如以图形显示像TDDB、NBTI、HCI等可靠性测试的结果。

新功能包括：

逻辑与实体测试点，支持多测试点并行测试作业 每片晶圆能处理10万个晶粒 测试点(site)或图案的优先级最佳配置 可针对组件、次测试点、测试点、晶圆、以及项目等级可选择离开状态 使用者存取点(UAP)让使用者延伸Keithley测试执行引擎的功能与特色 晶舟取样计划 优先分类的功能，最多可分16类 逻辑测试点分类功能，支持多测试点并行测试 晶圆级的分类功能，结合图形数据分析与晶圆级导引─点选一个逻辑测试点就能检视选定测试作业的图形化分析结果 实时描绘测试结果与分析资料 新增的大型参数与可靠性数据库 支持Models 2635 与2636 System SourceMeter 仪器

供货时程

Keithley ACS整合式测试系统产品现正供应中。