吉时利ACS集成测试系统助力半导体制造分析

测量需求解决方案企业美国吉时利(Keithley)仪器公司，日前发布ACS(Automated Characterization Suite)自动特征分析套件集成测试系统。该测试系统实现器件级、圆片级和黑盒级半导体特征分析工作。ACS测试系统通过统一软件套件，提供更快测量速度和更大系统灵活性，以满足用户独特的测试应用需求。

在统一自动特征分析套件中、吉时利ACS集成测试系统整合各种测试硬件，具有全面而独特的测量能力：

吉时利强大的4200-SCS半导体特征分析系统具有I-V源测量功能和专业脉冲测试工具包，例如用于先进半导体材料测试的4200-PIV工具包。 2600系列数字源表测试仪具有TSP-Link和测试脚本处理器(TSP)，可在运行状态下的NBTI测试或圆片级器件特征分析等应用中实现可扩展的I-V通道系统、高速并行测量和复杂测试序列等功能。 2400系列数字源表测试仪能够提供高电压和高电流源，可用于高功率MOSFET|0">MOSFET和显示驱动器测试等领域。 此外ACS集成测试系统还为用户提供可选择的开关、C表和脉冲发生器等附件。

ACS集成测试系统具备两类配置：基本台式配置，和用于生产环境集成的全高度机架式配置。