KLA-TENCOR 针对科学与太阳能测量需求推出新型 P-6 表面轮廓仪系统

KLA-Tencor 公司（纳斯达克股票代码：KLAC）近日发布其最新的探针式表面轮廓测量系统 P-6™，该系统针对科学研究与生产环境（例如，光电太阳能电池制造）提供一组独特的先进功能组合。P-6 系统受益于在先进半导体轮廓仪系统上开发的测量技术，但却采用了较小与较经济的桌面型机台设计，可接受最大至 150 毫米的样本。

KLA-Tencor 的成长与新兴市场集团副总裁 Jeff Donnelly 表示："我们对 P-6 探针系统的推出感到振奋，该系统将为科学与太阳能客户提供在应用方面的最佳功能组合。对于太阳能市场，P-6 拥有在开发阶段提高太阳能电池效率，以及监控生产制程质量所需的分辨率、扫描质量和自动控制能力。"

融合 KLA-Tencor 的自动化 P-16+ 探针式轮廓仪的众多功能，P-6 探针式轮廓仪充分承袭了最佳技术与效能的传统：

低噪声基底可改善表征微小表面特征的测量灵敏度 小于 6 埃的步进高度可重复性，确保了严苛的制程控制 150 毫米 X-Y 样本载台可实现覆盖整个基底的单一测量 2D 应力测量与分析可将缺陷降至最低并提升良率 功能强大且容易使用的分析软件，提供高阶应用的灵活性

P-6 轮廓仪已通过主要太阳能产品制造商 BP Solar 的合格认证。BP Solar 技术副总裁 Eric Daniels 表示："我们对 KLA-Tencor 的 P-6 系统的评估证明，它对于多种表面测量应用系统的一系列制程条件具有高灵敏性，其中包括 ARC 薄膜、导线触点及前表面纹理结构。对于支持我们的技术开发与生产改善，P6 将发挥重要价值。"

P-6 系统将于 2008 年 7 月 15 至 17 日在旧金山举办的 InterSolar 北美展会第 9252 号 KLA-Tencor 展台上展出。

关于 KLA-Tencor： KLA-Tencor 是专为半导体和相关产业提供制程控制及良率管理解决方案的全球领先供应商。该公司总部设在美国加州的密尔必达市，销售及服务网遍布全球。KLA-Tencor 跻身于标准普尔 500 强公司之一，并在纳斯达克全球精选市场上市交易，其股票代码为 KLAC。有关该公司的更多信息，请参观网站 http://www.kla-tencor.com。