TSMC 0.13um 7或8层金属各为多厚?麻烦各位知道的说下!
时间:10-02
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它们之间的介质厚度又为多少?衬底厚度为多少?要来设置ADS monmentum 的衬底设置
你没有design rule么?
没有manual?
可以问tsmc的技术支持要相关文档(如果有合作关系)
tsmc的技术支持要相关文档不是公开的啊?
设计规则里面讲的很清楚啊 !
看设计规则啊
Design Rule
tks
你没有design rule么?
看你选的是哪种金属,厚度不同,查工艺文件。
thanks
讲层文件的那个文档写的很清楚