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流片时RF MOS和analog MOS的制造流程是完全一样的么?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:

[求助]流片时RF MOS和analog MOS的制造流程是完全一样的么?
因为我做了一个RF的电路,由于用了自己的layout方法而不是library自动生成的layout,使得LVS过不了。如果删去一些层,比如LVS_RF等(Design Rule说这些层仅仅是LVS时使用的),然后在电路图中改成analog MOS,就可以通过LVS。
问题是实际流片生产中,RF MOS和analog MOS的制造流程是完全一样的么?比如一个管子用了RF MOS,旁边的一个管子用的是analog MOS,两者尺寸完全一样,layout的形状也一样(当然analog MOS的layout没有LVS_RF等),做出来的性能也是一样么?
谢谢了。

不是有SoC这个词吗
具体你的神马工艺需要再确认一下

一样的,RF_MOS只是在schematic simulation中加入了更多的parasitics.实际layout normal MOS 和 RFMOS没区别

哦,就是RF MOS和analog MOS仅仅是model不同而已(RF MOS对寄生效应模拟的更精确一些),具体生产的时候还是一模一样的?

然也,三楼是正解。

shi di

RF MOS 和analog MOS从工艺角度来说是一样的
RF layer只是CAD layer, lvs时候区分device而已,不是mask layer
如果是tsmc的话,RF MOS 就是他给你layout 画好了,电路做前仿时候都带寄生的,或者说model更准确

那么普通Analog工艺的金属厚度也和RF的一样吗,还是不同呢?

RF top 金属比较厚,用来做电感;其他的都一样。所谓的analog/RF工艺都是在logic工艺上添添补补,大部分是一样的。

一样的,只是RF模型增加了高频模型!

最重要的差别是地下有没有deep nwell的隔离层吧。

想问下,既然没有区别,为什么不只保留精确的RF模型。是考虑有些应用不需要高精度,选用复杂模型仿真时间更长?那应用的时候该怎么选取呢?

学习了

原来是一样的

看大神现身说法

RF layout 对于analog layout 面积要大很多,所以一般都用analog 的

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