Poly Efuse如何确认已经熔断
时间：10-02
整理：3721RD
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用Poly做的Efuse ，怀疑没有熔断，读取数据时不正确，有没有其它方法可以确认?
如果是Metal做的Efuse，在显微镜下可以看到明显的熔断痕迹，但是Poly似乎不明显。
求有经验的指点！
如果是Metal做的Efuse，在显微镜下可以看到明显的熔断痕迹，但是Poly似乎不明显。
求有经验的指点！
对比了下，poly熔断的痕迹还是明显的吧
fuse两端有PAD的，直接测一下电阻就行
多谢math123，看来应该是我们检测的点确实没有熔断。
也谢谢chengji1999，没办法直接测，因为金属在下层没法直接测到，测试需要另外做PROBE点！