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SMIC提供ADS衬底文件吗?

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
请问SMIC提供ADS衬底文件供EM仿真用吗?
如果不提供,那么提供EMX process file吗?
如果都不提供,从SMIC的什么文件里可以查看到详细的工艺信息,比如多少层metal,每层metal以及相互之间连接层的介电常数?
多谢

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