求教.35um下衬底掺杂或者衬底薄膜电阻一般为多大
时间：10-02
整理：3721RD
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由此要做一些工艺仿真，所以现在需要知道0.35um下，衬底掺杂或者是衬底薄膜电阻的值为多大?最好是SMIC的工艺值。
查了很多东西都没有，望有经验的高人指点一下。
查了很多东西都没有，望有经验的高人指点一下。
自己顶起来，希望有高人可以指点。
看工艺文件（见其他相关贴）