同一个process, Generic 和Low Leakage,工艺上差别在什么地方?
时间:10-02
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同一个工艺节点的Generic工艺和Low Leakage工艺(比如90nm Generic vs 90nm Low Leakage),他们的Vth不同,漏电不同,工艺上差别在什么地方?
我是指foundary具体实现的时候哈,仅仅是离子注入多少的区别吗?如果是这样,那low leakage工艺跟Generic工艺的ss corner区别又在什么地方
Vth0要高不少,速度要低一些,栅氧要厚