关于slot wafer corner的认识？

据我了解的slot wafer corner之间有两种不同的认识：

一种是： 不同slot是不同corner，而一个wafer上只有一个corner

另一种是：一段时间的slot集中到同一个corner，而一片wafer上有多种corner

请有经验的达人分享经验.......

这个还不了解，继续关注长见识

我觉得吧，应该是第一种

不同slot是不同corner，而一个wafer上只有一个corner这一般是designer要跑的corner lot；另外一种是FEM, 这种可以在wafer上不同的区域调节CD，但是没有办法做不同的implant，一般是fab用来检验CD对某些东西的影响的。