smic、chartered（GF）、tsmc混合信号工艺采用的wafer类型
时间：10-02
整理：3721RD
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smic、chartered（GF）、tsmc混合信号工艺采用的wafer类型是外延片还是轻掺杂衬底?
如何想知道这些工艺的半导体工艺参数，如何进行查询啊?
如何想知道这些工艺的半导体工艺参数，如何进行查询啊?
一般来讲，mixed-signal工艺都是non-epi的，也就是轻掺杂衬底。
具体的工艺参数要看它的document .
谢谢！
什么样的工艺会采用外延?
工艺参数在哪里可以找到?我也在比如smic给的文档中查找了，但没有找到。