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P+注入和N+注入怎么会是同一层版?……

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
Razavi中文版第502页,第四段,用”第二次,用同一块掩模版……“
感觉说得不对,不知各位意见如何?

翻译的问题吧,应该是不同的掩膜

书上是这么描述的:第一次用负性光阻刻出N+注入区,第二次用正性光阻刻出P+注入区。负光阻和正光阻的图形正好reversion一下。但实际上是不同的掩膜。两数据dark和clear正好相反。书上所说的就是可以省一块掩膜版的钱嘛。

工艺中要把掩模版反过来

学习学习!

一次正胶,一次反胶,用同一层版形成互补图形

在我的记忆中,是两块掩膜版

P+和N+刚好可以互补,可以用反板来实现

好东西

可以一块板的,把板子反过来就好啦

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