关于gate oxide capcitor
时间：10-02
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最近在做高压的process，发现高压的gate oxide cap比低压的小，不知道什么原因，请哪位大侠指教！
栅氧变厚了，c反比于介质厚度。
呵呵，该回答言简意赅，强
严重同意
这个要和衬底的掺杂类型有关吧?