有用Sentaurus的仿真的嘛？有问题请教一下

我是在使用sentaurus sdevice进行仿真的时候，虽然参数文件都导入了相应的文件夹，但是一直显示preprocessing不成功，找不到相应的文件?
如下：
WARNING: could not open file /.../ sdevice_PolySi.par
这个是什么原因啊?相应的文件确定在对应的文件夹里面了。

顶一下。虽然不晓得为什么，但是我只好把所有include那些paramter的文件全部粘贴进去了。;(