怎样测量反向PN结电容随电压的变化关系

测量半导体探测器的基本参数。
使用的半导体si探测器相当于一个反向PN结，实质相当于一个电阻和电容变化并联的电
路，但电阻和电容都随着电压变化而变化，请问怎样测量此变化关系，谢谢啦。

HP 4192低频阻抗分析仪 Agilent 4284精密LCR表

上电桥，或者接成LC振荡器然后测频率