一种单轴MEMS陀螺仪信号处理电路设计
时间：12-23
来源：互联网
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仿真结果如图7和图8所示，图7表明驱动环路能够稳定工作，图8的波形是75°／s(100Hz)输入角速度的输出波形，输出电压峰值为0.5V。 
MEMS陀螺仪信号处理电路是实现MEMS陀螺仪产业化的关键，文中设计了一种单轴MEMS陀螺仪信号处理电路，并基于TSMC 0．35μm 2P4M工艺实现。MEMS陀螺仪的难点是系统分析，文中分析了闭环驱动稳定性，并设计了一个对传感器电容共模部分不敏感的CV转换模块，仿真显示MEMS陀螺仪整体工作正常，具体指标如表1所示。
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