射频探针的发展史

阶模展现出更高的阻抗。

EM场分布图的转换是由处于单个探针组装内的若干个射频过渡措施来维持的。一个传统的射频探针是由下列几个部分组成的：

1） 测试仪的界面（同轴或波导）

2） 从测试界面到微同轴电缆的过渡

3） 从微同轴电缆到一个平面波导的过渡，如CPW或微带线

4） 面向晶片上DUT的共面界面（或者极尖）

若干种探针或者将3）和4）组合在一起，或者不使用微同轴电缆（图9）。一个同轴连接器是低于65GHz的射频探针常用的测试系统界面。同轴和波导这两种连接方案均是50 到110GHz频率范围内可能的界面。在单次扫描中，覆盖了从直流到110GHz的宽带测试系统利用了最小尺寸（1mm）的同轴连接器。不同尺寸的矩形波导是与110GHz以上的测量系统对接的。

图9、（a）基于一个微同轴电缆的射频探

（b）波导界面

（c）从同轴到共面线的直接过渡

一个探针技术的自然寿命大约是12年。有两个主要因素推动着探针技术的发展：

1） 改善高端应用中的测量精度

2） 降低主流应用的测试成本。

除了主流（Allstron公司）和高端应用（DMPI公司）的新的探针供应商以外，一些射频微波行业的中小型服务商也在提供用于低频及宽频领域的的产品。