基于EPA的光栅位移测量系统原理及设计方案

　　引言

　　目前，国内研究和开发数控定位装置的单位都在研制各种经济型的工作台产品，一般定位精度为1μm、5μm、10μm。工作台的结构布局、位移量的大小、测量速度等都越来越趋于灵活，自动化程度也越来越高，但是这些工作台大多数都是单机监控的分散结构，有些是通过RS485、现场总线、PLC等把设备连接在一起，构成简单的DCS或FCS网络测量系统。利用这些方法构成的系统具有成本高、测量范围小、速度低、不稳定和支持应用有限等缺陷，因而其发展受到了极大的限制。相反，工业以太网以其统一的TCP／IP协议和CSMA／CD多路访问方式使其得到了迅猛发展，以太网不仅具有廉价、高速、简易、方便的特性，而且传输速率高、信息量大、兼容性强，所以受到许多工业监控现场总线开发机构的高度重视。

　　本文介绍的基于EPA的光栅位移测量系统，具有功能易于拓展、联网方便、造价低廉的特点，可很好地满足航空航天、精密机械仪器、数控机床等领域中精密位移测量及定位的需要。

　　1光栅位移测量系统硬件选型

　　1．1主控制器DS80C410微处理器

　　DS80C410是快速的与8051兼容的高度集成的网络微控制器。它执行指令的速度比普通的8051快3倍。它的外围设备包括10／100Mbps的以太网MAC，2个串行端口，1个CAN2．0控制器，1个l-wrie控制器和64个I／O引脚。为了能访问网络，ROM里嵌入了完全的TCPIPv4／6协议栈和操作系统。网络协议栈同时支持32个TCP连接而且可以通过以太网MAC以5Mbps的速率传输数据。

　　对于半双工操作模式，DS80C410和网络上其他节点一起共享以太网物理介质。DS80C410访问物理介质时遵守以太网的带冲突检测的载波侦听多路访问协议(CS-MA／CD)。MAC在试图发送以前等待物理载体空闲。由于网络中有很多节点，所以在发送时不同的节点可能发生冲突。当检测到冲突时，MAC在尝试再次发送前等待一个随机时隙。除非有指令干涉，否则MAC再尝试发送这个冲突帧，发送16次以后自动放弃这个发送帧。对于全双工通信模式，物理介质和DS80C410直接连接到另外一个节点上，允许同时发送和接收数据，而不会发生冲突，因此不需要介质访问方法。对于全双工通信，流控制机制使用PAUSE控制帧。当需要时间释放接收数据缓冲区时，DS80C410可以初始化PSUSE帧，请求其他的尝试发送帧的节点挂起几个时隙。

　　和其他单片机相比，DS80C410的指令操作功能强大，不需要外扩存储器。内部集成的2个串口，便于整个系统的功能升级和扩展。除了组建工业以太网接口电路所用到的端口外，还有大量的闲置端口可以用来实现其他用途，同时系统能够实现在工业现场以10／100Mbps的网络传输速度进行实时通信，便于系统实现网络化测试。另外，它执行指令的速度比普通的8051快3倍，所以有利于提高系统的响应时间。综合考虑之后，选择DS80C410作为整个光栅位移测量系统的主控制器。

　　1．2以太网收发芯片LXT972ALC

　　本设计中需要一个传输介质为双绞线的以太网接口，这里采用的Intel公司的LXT972ALC就是这样一个接收发送芯片。它遵守快速以太网协议，支持10／100MbpsMAC标准。LXT972ALC设备实现了标准IEEE802．3定义的MII。提供了从MAC到LXT972ALC数据传输的独立通道。每一个通道都有各自的时钟、数据总线和控制信号。

　　1．3网络变压器

　　以太网收发芯片LXT972ALC输出数据还要通过网络隔离变压器实现对信号的处理，网络隔离变压器的作用就是把信号转换成平衡信号传输，以减少共模干扰，提高数据传输距离。设计中采用了Belfuse的S558-5999-T7网络隔离变压器。变压器的两个输入和两个输出分别连接以太网收发芯片LXT972ALC的TPIP／N、TPOP／N和RJ45。

　　2传感器

　　传感器的类型是多种多样的，其优缺点也各有侧重。相比较而言，光栅传感器不仅具有高速、高精度、非接触测量等优点，而且位移检测有较大的放大率以及误差平均效应，所以广泛应用于位移精密测量和精密定位控制领域。

　　2．1光栅位移测量的基本原理

　　光栅传感器主要是由标尺光栅、指示光栅和光电器件(发光和光敏器件)组成，当两块光栅以微小夹角重叠时会产生干涉，在与光栅刻线大致垂直的方向上形成亮暗相间的干涉条纹，即所谓莫尔条纹。随着两光栅的相对移动，条纹也发生移动，在固定的光敏器件上就会有光的亮暗变化，对亮暗变化周期进行计数，按照一定的对应关系即可计算出两光栅的相对位移，这就是光栅测量位移的基本原理。一般，莫尔条纹的宽度远大于光栅栅格的宽度，因而，莫尔条纹实际上起到了光学放大作用。其放大倍数为

其中T为莫尔条纹的间距，d为光栅的栅格宽度，θ为两光栅刻线夹角(单位为弧度)。光栅的栅格宽度是