应对65nm以下测量技术挑战

由于它的绝对准确性，AFM可以被用作极好的参考标准来校正其它尺寸测量方法，从而建立起追踪链和已知的不确定的预算。CD AFM经常被用作有口皆碑的CD测量方法以保持和在线光学散射测量和CD SEM之间的校准，并且可以加快散射测量数据库的发展。以AFM为基础的参考测量系统使得世界范围内的不同工厂之间的测量机台匹配得以实现，确保Fab1的30纳米确实等同于Fab2的30纳米。

特征空间大小是对AFM的一个限制，只有当空间足够大并使得探针可以伸入进行扫描时AFM才能够工作，当沟槽空间窄于探针直径时AFM无法进行扫描。随着AFM探针技术的进一步发展，已经有能够测量窄空间和很大纵宽比的更小针头出现。