用激光平面千涉仪测量光学平板玻璃的平行差
时间:05-24
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干涉条纹中调整到与垫板中心重合(图中黑色线表示干涉条纹,垫板的干涉条纹就是留出的小孔部分)。然后观察零件表面的千涉条纹,看其中心偏向那边。如果垫板零件表面都是低光圈时,心在那边,那边薄,背向即为厚端。最后修至垫板和零件表面干涉条纹成同心圆。 如果垫板光圈呈直线,即N0.1时,光圈圈不起来,无法对中心,这时只需把垫板光带调成最宽状声,中心已不见光带,只见一片均匀光,只能从边缘四个小孔中看到一点光带,见图9。此时垫板表面和标准平面的干涉条纹接近平行,即相当对准了中心。然后观察零件表面干涉条纹心偏向那边,那边为薄,然后压厚的一方继续修整。直至垫板条纹与零件条纹重合,就证明垫板表面与零件表面是平行状态,如图10所示。 此时即可下盘,一般4护以下是能够保证的。如果光胶时无尘,而且零件第一面光圈很好,N0.1,这时有的平行差可高至l“~2“。上边所讲都是垫板和零件表面是低光圈的现象。如果零件表面是高光圈时,薄厚端正好相反,见图11所示。心向的便是厚端,背向即为薄端。 从图12中可以可看出,由于零件表面高光圈,中心厚,应采取降光圈的方法,直至改至图13所示的情况 以上几种情况还可以此类推,如一面是高光圈,一面是低光圈,还要看那面高多少,那面低多少等。总之由于两个表面各点光程差不等,呈现出相应的干涉图样,通过对图样的观察、分析,具体情况具体对待。
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