利用多晶X射线衍射实现半导体结构在线测量

需要感谢IBM研发中心的Ken Rodbell和Sandra Malhotra（现在供职于Intermolecular），他们在第一代设备研发过程中扮演了重要的角色。同样需要感谢的是IBM的Naftali Lusting和Christian Lavoie，本文中使用了很多他们的实验数据，还要感谢Nova Microstructure的Marjorie Cheng，文中很多数据都是我们和他通力合作的结果。