离子注入技术简介
时间：06-01
来源：互联网
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2．3 在SOI技术中的应用
由于SOI技术（Silicon-on-Insulation）在亚微米ULSI低压低功耗电路和抗辐照电路等方面日益成熟的应用，人们对SOI制备技术进行了广泛探索。
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