利用大功率数字源表构建多源测量单元（SMU）系统-连载五

第五步：相位参考输入设置，选择Phase Ref -->

状态特性分析，因此测试设置很可能涉及2651A型以及2657A型大功率源测量单元（SMU）。为了保证两种配置中测量的完整性，要将2651A型大功率源测量单元（SMU）的LO端与待测器件单独连接。将2651A型大功率源测量单元（SMU）的检测LO端连接至2657A-LIM-3，这样，就可以与测试设置中的其他源测量单元（SMU）共用。将2657A-LIM-3的输出LO端与2651A的LO端连接，并尽可能靠近待测器件。

在对晶片上器件进行开启状态特性分析时，前面推荐的连接方式可能导致3个探针向下触及连接FET源端的衬垫。不过，实施这些连接可能是个问题，不仅因为衬垫上没有容纳3个探针的足够空间，而且因为衬垫寿命将随着探针的下触而缩短。利用2657A-LIM-3型产品中的自动检测电阻，有可能解决这个问题。自动检测电阻通过100kΩ电阻器将2657A-LIM-3的输出检测LO端与输出LO端连接到一起(参见图4)。虽然待测器件测试没有保持真正的4线连接，但这对FET或IGBT门极接线端电压的影响不大，因为门极电流非常小，而且2651A型产品的LO是单独连接到电路公共端的。

图 4 在2657A-LIM-3型产品中，通过一个100kΩ电阻器将输出检测LO端与输出LO端连接到一起。在待测器件没有足够空间实施4线连接情况下，这样，可以实现准开尔文连接。如果期望完全的开尔文连接，只需利用电缆单独连接检测LO端与输出LO端，从本质上讲，100kΩ电阻器可以忽略。