面向偏压温度不稳定性分析的即时VTH 测量

。可从吉时利网站下载该指南www.keithley. com/events/semconfs/webseminars，并在www.keithley. com获取其它信息资源。 4

定制系统

吉时利能将多台2600系列仪器集成为完整的BTI测试方案。当结合4200-SCS和脉冲I-V选 件（4200-PIV）使用时，这些方案能对偏压温 度不稳定性机制实现前所未有的深入观测。提供的全自动晶匣级晶圆自动化功能能采集统计 意义上极大规模的样品。

高速源和测量

实现OTF技术的关键要素是采用高速源测量单元或SMU。

高速SMU具有许多关键性能：

• 连续测量速度快，连续测量的间隔小于100μs。

• 微秒分辨率时间戳确保正确的定时分析。

• 精密电压源满足漏极小偏压的要求。

• 源快速建立实现了源-测量最高速度。

• 大数据缓冲区确保连续监测器件的劣化和恢复。