便携式真空加载剪切电视全息无损检测系统研究
1 剪切电视全息原理
Michelson型剪切电视全息干涉测量系统如图1所示,2个平面反射镜M1、M2被放置成互成90°±δ角,被测物体经半透半反棱镜成2个像到2个
平面全反射镜M1、M2上,因此2个平面反射镜在CCD摄像机靶面上将形成2个互相错位的像,物体上任一点A(x, y)与点B(x+δx, y)成像到CCD靶面上的同一点,在靶面上光强可以表示为
式中:Ψ=θ(x+δx, y)-θ(x, y),表示A、B两点在x方向剪切的相位差.当物体变形后,A与B都发生位移,引起剪切波前相位差变化,变化量用Δ表示,这时光强为
变形前的图像存在图像板中,与变形后的图像相减并取绝对值,这时图像光强为
实际情况是Δ变化比Ψ变化慢得多,由(3)式可看到它有2个互相调制的函数项,第1项频率高,表示散斑,第2项变化频率低,表示散斑条纹.
时,将出现亮条纹,并且该亮条纹带有散斑点.
由文献[4]可知,若照明光接近垂直入射,则x方向剪切时 w/ x≈(kλ/2δx)
式中 δx为x方向的剪切量.
y方向剪切时 w/ y≈(kλ/2δy)
式中 δy为y方向的剪切量.
2 剪切电视全息测量系统介绍
剪切电视测量系统原理结构示意图如图2所示,半导体泵浦的YAG倍频激光器发出功率为60mW、波长为532 nm的激光,经扩束镜扩束照明被测物体,被测物体经半透半反棱镜成2个像到2个平面全反射镜M1、M2上,被M1、M2反射后经半透半反棱镜到达CCD摄像机靶面.2个平面反射镜M1、M2安装成互成90°±δ角,因此2个平面反射镜反射的2个像在CCD靶面上将形成2个互相错位的像,并形成干涉散斑场.该干涉散斑场由CCD摄像机转换为视频图像信号,视频信号由图像板数字量化并由计算机进行处理,得到物体变形位移梯度的信息.在本系统中用CCD摄像机代替全息干板,省去了冲洗干板的麻烦,使测量实现了自动化.但摄像机分辨率比全息干板低,因此要根据测量要求选择适当分辨率的摄像机.通常采用512×512×8 bits的图像板,摄像机的分辨率应大于512线;在高测量要求的场合可选用1 024×1 024×8 bits的图像板,摄像机也应选择大于1 024线的高分辨率摄像机,这时系统成本也将增加.
半导体泵浦的YAG倍频激光器体积非常小,为25 mm×30 mm,CCD摄像机与方棱镜等构成的剪切光学头部分体积为200 mm×80 mm×80mm,安装在350 mm×500 mm的圆桶形真空室中(如图2虚线框所示),手持部分总重量小于8 kg,便于携带.真空室与真空泵相联,由计算机控制真空加载.由于真空室直径为350 mm,因此每次抽真空加载所检测的区域也就是直径350 mm的面积.对于大的检测面积,可采用多次分块检测的办法完成,即检测完一处后,移动到下一处检测,直至全部检测完毕.
若要得到定量数据,需采用相移技术.我们使用相移器实现相移.压电陶瓷晶体一端固定,自由端粘贴一球面反射镜,在压电陶瓷晶体两极加直流电压V.由于PZT具有电致伸缩效应,改变加在压电陶瓷晶体上的电压可以引起压电陶瓷晶体的收缩与膨胀,带动反射镜移动,使参考光波相位发生变化.伸缩量S与电压V的关系为
式中:E为加在PZT上的电场强度; d33为加压方向的压电系数; M3为电致伸缩系数; t为两电极间的距离.d33和M3是与PZT材料有关的
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