列数各类高效晶硅太阳能电池
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业大学光伏中心使用电阻率0.65 Ωcm、厚度280μm的HEM(热交换法)多晶硅片制作电池,n+发射区的形成和磷吸杂结合,采用快速热过程制备铝背场,用lift一off法制备Ti/Pd/Ag前电极,并加双层减反射膜。1cm2电池的效率AM1.5下达到18.6%。
(2)UNSw电池
uNsw光伏中心的高效多晶硅电池工艺基本上与PER1。电池类似,只是前表面织构化不是倒金字塔,而是用光刻和腐蚀工艺制备的蜂窝结构。多晶硅片由意大利的Eurosolare提供,lcm2电池的效率AMImiddot;5下,达到19.8%,这是目前水平最高的多晶硅电池的研究结果。该工艺打破了多晶硅电池不适合采用高温过程的传统观念。(3)Kysera电池
日本ky0cera公司在多晶硅高效电池上采用体钝化和表面钝化技术,PECVD SiN膜既作为减反射膜,又作为体钝化措施,表面织构化采用反应性粒子刻边技术。背场则采用丝印铝奖烧结形成。电池前面栅线也采用丝印技术。15cmX15cm大面积多晶硅电池效率达17.1%。目前日本正计划实现这种电池的产业化。
(4)我国多晶硅电池
北京有色金属研究总院在多晶硅电池方面作了大量研究工作,目前10cmX10cm电池效率达到11.8%。北京市太阳能研究所在“九五”期间开展了多晶硅电池研究,1cm2电池效率达到14·5%。我国中试生产的10cmX10cm多晶硅太阳电池的效率为10一11%,最高效率为12%。
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