精度位置控制应用中运用NanoPWM驱动器代替线性驱动器

PWM驱动器小两个数量级。平板显示器加工系统比较庞大，对于马达电压和电流的要求超过了目前商业化了的线性马达的容许能力。有机LED显示要求更高的精确度，跟随精度和静止抖动，都要在几个纳米的误差范围内。NanoPWM给这样的需求提出了解决方案。

总结
本文介绍了一直新型的线性开关伺服驱动器-NanoPWM,这种驱动器具有线性驱动器和PWM驱动器的所有优点。使用NanoPWM驱动器得到的运动性能超过了目前已经商业化了的线性伺服驱动器的性能。这种驱动器更小，更可靠，更便宜。

这种驱动器可以满足更高的运动性能需求，适合半导体晶圆检测和平板显示器制造系统。