并行参数测试转向异步方式

并行测试是一种提高产量的常胜方法，而异步并行测试一直被认为是一种能显著改进生产能力，同时最大限度的使用现有测试硬件的一种有效方式(参考文献 1)，新颖之处在于将并行技术应用于半导体参数测试。

Keithley Instruments 率先提出了同步并行测试能力的概念，并出版了一本书(在第 22 页有此问题的评论)，该书讨论了并行参数测试的优点，提出了关于如何将该技术应用于传统设备的提示，并说明了如何设计新的测试结构，以充分利用并行测试能力的优势。

Keithley 在去年12月发布了 KTE 交互测试环境软件的 5.2 版，用于该公司 S600 系列参数测试系统。KTE V5.2带有一个名为PT_Execute的例程，可以对并行测试与顺序测试作快速评估。该公司亦增加了一个名为 FMI(强制测量互锁)的功能，它采用固件和软件降低并行测试应用中的串扰、噪声和测量可变性。

现在，Agilent 科技也高调入场了，它在今年4 月推出的 4080 系列参数测试平台上引入了异步并行参数测试能力。新系统采用 Agilent 称之为 SPECS(半导体工艺评估核心软件)的测试壳用以支持同步和异步并行测试。

据 Agilent 的 Hachioji 半导体测试部市场经理 Alan Wadsworth 说，4080 参数测试平台专为那些使用先进工艺的晶圆代工厂而设计，包括扩展至 45nm 以下的厂家，那些工程师们需要大量数据来应对各种问题，如线宽的变化。除了系统并行测试能力以外，Wadsworth提到4080系列拥有一个比其前身4070系列强大得多的 CPU，他说，光这个新 CPU 就能把传统顺序测试程序的工作量提升 10% ~ 20%。

但是，真正的优势来自于完全使用4080系列异步并行测试能力的开发程序。Wadsworth称，异步并行测试时间可以比传统顺序测试方法减少50%。他补充说，异步模式的目标是挤压出同步并行测试方案中留出的某些无用测量时间(如图)。

4080有三种型号：4082A完成通用参数测试;4082F面向NAND/NOR器件的闪存单元参数测试;而 4083A则带有一个20GHz 8x10 RF阵列，一次可测量多达五个RF结构。