静电耗散材料电阻和电阻率的测量

静电耗散材料电阻和电阻率的测量
表面电阻/表面电阻率, 体积电阻/体积电阻率, 点对点电阻, 接地电阻的测量
l 表面电阻, 体积电阻, 点对点电阻, 接地电阻单位: Ω
l 表面电阻率单位: Ω/□
l 体积电阻率单位: Ω?cm
l 静电耗散材料标准:
n 表面电阻: 104-1011Ω; 表面电阻率: 105-1012Ω/□
n 体积电阻: 104-1011Ω; 体积电阻率: 104-1011Ω?cm
n 点对点电阻：104-1011Ω
n 工作台面接地电阻： 109 Ω
n 防静电地板接地电阻： 109Ω
n 导静电地板接地电阻： 106Ω
l 测试仪器：重锤式静电电阻测试仪（测试方法：直流法）
表面电阻和表面电阻率测试
采用TOM600ME或TOM374静电电阻仪，配RME 1同心圆重锤电极（如图1）

体积电阻和体积电阻率测试
采用TOM600ME或TOM374静电电阻仪，配ME250重锤电极1对（如图2）