行业迎来MEMS器件热 细数ADI近年MEMS新品发布（二）

善系统的性能与维护的成本。

ADI对于会导致精密度较差的运作或是设备故障等状况，肇因于设备与轴承损坏的可能振动来源，该元件实现了最先期的侦测、辨认、以及隔离功能。借由将这些小巧的振动监测器加以嵌入，从风力涡轮机到工厂自动化与装配设备等的应用领域都能够从自动化的振动资料搜集上获益。

MEMS 加速度计很适合于使用在振动监测方面，但是通常都只具有低整合度。ADI 以其于整合型传感器处理方面的经验，将 MEMS 加速度计转换成一组具有可程式嵌入式处理功能的三轴振动分析器。 ADIS 16227 iSensor 振动监测器消除了利用多重元件进行开发时的复杂度以及风险，并且实现了更为宽广的应用基础。

ADIS 16227 iSensor 是一款三轴数位振动监测器，结合了 iMEMS 传感器、资料转换与传感器处理技术、以及方便的资料撷取和串联周边接口（SPI）。 SPI 与资料缓冲架构使广大频宽的传感器资料能够加以存取。 22kHz的传感器谐振与100kSPS取样速率提供了适合于广大频宽振动监测应用领域的频率响应。

ADI推出战术级10自由度MEMS IMU-ADIS16488

Analog Devices， Inc. （ADI），全球领先的高性能信号处理解决方案供应商，最近正式全面推出第三代iSensor? MEMS IMU（惯性测量单元）ADIS16488，这是一款战术级10自由度（DoF）传感器 ，在单封装中集成一个三轴陀螺仪、一个三轴加速度计、一个三轴磁力计和一个压力传感器。新款 MEMS IMU提供最稳定、最完整的集成传感器套件，支持高性能导航和平台稳定控制应用的严格要求。除了重要的战术级（低于10 o /小时）零偏稳定度以外，在重力加速度效应、温度系数和带宽等一般更重要的特性方面，ADIS16488同样超过所有其它同类陀螺仪/IMU产品，改善最多可达100倍。此外，在对线性加速度和振动加速度抑制方面，新款 i Sensor MEMS IMU甚至超过传统军用级 IMU。每个器件均要经过独特而全面的工厂校准，能够在最恶劣的环境下提供无与伦比的精度;相对于典型的运动传感器开发，设计的复杂度、时间、成本和风险大大降低。

ADI 公司MEMS/传感器技术部 iSensor 业务开发经理 Bob Scannell 表示：“工业、军用和医疗设备的设计工程师要求精度极高的运动检测和控制，来支持稳定或导航应用。ADIS16488战术级 IMU 提供的性能水平以前只有不限预算的设计才能获得。相比于传统高端 IMU，ADIS16488在零偏稳定度和角度随机游走等关键指标的性能与之相当或更好，而对振动校正、线性度和带宽等一般更重要的参数，ADIS16488 能够提供更优越的性能，并且功耗仅为其1/4，成本仅为其1/10。”

有关 ADIS16488 iSensor 10自由度 MEMS IMU 的更多特性

ADIS16488 iSensor 10自由度 MEMS IMU 是一款完整的惯性测量系统，实现了 ADI 公司高性能 iMEMS?技术与传感器信号处理技术的完美结合，提供优化的10自由度动态性能。它完全自主工作，包括所有嵌入式补偿，通电后500 ms就能从 SPI 接口获得有效数据。所有校准均在工厂完成，嵌入式滤波和其它诊断由ADI Blackfin ? 处理器控制的可配置接口进行调整，因而设计集成的大部分时间和风险得以消除。

ADIS16488 iSensor 10自由度MEMS IMU主要特性

陀螺仪零偏稳定度： 6o/hr

陀螺仪动态范围： 450°/s

陀螺仪角度随机游走：0.3°/rt-hr

陀螺仪噪声：0.005o/s/√Hz rms

非线性： 0.01%

偏置温度系数： 0.0025o/s/oC

灵敏度温度系数： 35ppm/oC

加速度计零偏稳定度：100ug

加速度计动态范围： ±18g

X/Y/Z对准精度： 0.05o

带宽： 330Hz

磁力计动态范围：±3.5高斯

气压计动态范围：10 - 1200 mbar

ADI推出紧凑型多轴MEMS振动监控器

ADI最近推出MEMS ADIS16228 iSensor?振动监控器，提供更高效的振动检测，不断帮助工业设备设计人员改善系统性能，降低维护成本。这款全集成振动分析系统内置一个嵌入式可编程处理器，提供方向感测和频谱分析，识别每个振动源并加以归类。借助这种振动监控器，用户将能在第一时间检测、识别并隔离振动源，避免因设备和轴承磨损导致运行错误和损失巨大的设备停机。ADIS16228振动监控器噪声性能额定值仅为248 μg/ √Hz，动态范围为±18g，可设定为0 g至1 g/5 g/10 g/20 g。通过嵌入这种小型振动监控器，包括风轮机、精密工厂自动化和组装设备在内的各种应用都能从自动振动剖面分析中受益。

ADI公司MEMS/传感器团队iSensor业务开发经理Bob Scannell表示：“MEMS加速度计非常适 合振动监控应用，但集成度通常较低。凭借数十年的传感器处理集成经验，ADI成功地将MEMS加速度计改造成具有可编程嵌入处理能力的3轴振动分析仪。从此工业设