中国MEMS自主特色发展之路五点建议

当前，美国、日本、德国、英国、俄罗斯等国家竞相发展MEMS产业。我国MEMS产业与世界的差距也不算太大，甚至某些方面还有自己的独创性贡献。近年来，投资迅猛，其发展势头值得期盼。

　　那么，我国应该如何走出一条自主特色的发展之路呢？

　　由于MEMS产品种类繁多，生产工艺和标准体系难于有效整合，虽然MEMS产品可以用与半导体相同或者相近的生产线来制作，但只有少数几类MEMS产品可以用大规模的foundry方式来生产，目前绝大部分MEMS产品都是以小批量方式生产的。这给世界MEMS产业发展带来了一定的挑战性，也将奠定今后MEMS生产可能是既不同于IC代工模式也不同于IDM模式的另一种模式：即仍然走设计fabless化，而制造却小规模化、工艺可以多样化。

　　MEMS有特殊工艺和要求，这可能是2011年世界MEMS代工产业增长慢于世界MEMS总体产业增长的内在原因。据统计数据显示，2011年全球MEMS市场规模为102亿美元，增长率19%，而前二十大微机电系统（MEMS）代工厂的营收仅比2010年增长了5%。目前，MEMS代工业务在全球市场所占比例较小，不到6%;另外，MEMS代工厂营收在全球总体营业额中所占份额呈减少趋势。

　　我国半导体制造厂和设计公司规模小、工艺分散、工艺制作水平相对落后，但这可能成为今后MEMS产业发展的一大特点和优点。因为大部分MEMS产品都不必非要用最先进、最尖端的IC工艺生产线来制作，只要产品设计理念先进、应用目标清晰、市场定位明确，用落后几代的半导体生产线照样可以制作出一流水平的MEMS产品。

　　我国可以利用世界MEMS产业刚刚起步的机会，从产业现状出发，奋起直追，变“墨点为梅花”般地巧妙而及时的转型和发展。

　　第一，继续发挥中低端产品成本低的优势，力争在中低端领域实现“通吃”；第二，逐步向产业链高端发展，不断提高高价值MEMS产品比重；第三，国家适度规划，尽可能推出能够引导行业发展的并且能与世界MEMS技术标准相兼容的国家标准；第四，促进各类MEMS产业联盟、合作组织和学术交流与合作等发展；第五，同步进行MEMS生产设备研发，培养高级MEMS产品设计人员等。