硅纳米线将绘电子器件新版图
时间:08-13
来源:中国科学报
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术将很快达到自身的物理极限,硅纳米线极有可能成为纳米电子学领域极有应用潜力的新材料。
不过,裴立宅同时表示,虽然我国目前已初步实现了纳米晶体管、传感器等纳米器件的部分功能,但是离纳米器件的大规模集成还有相当大的距离。
"从目前的研究来看,利用掺杂硅纳米线制备纳米器件还存在一定问题,如对掺杂硅纳米线的掺杂机理、特性的研究还不够深入,而且采用硅纳米线制备的纳米器件重复性较差。"
裴立宅认为,解决上述问题,就要深入研究如何改进掺杂硅纳米线的制备工艺,减少后处理过程,制得容易测试的样品,并逐步实现可重复、大规模化生产工艺。而所有这些都需要通过科研工作者的不断探索来实现。
《中国科学报》(2013-08-14 第5版技术经济周刊)
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