如何降低硅光子产品测试成本

图2：透镜捕获来自待测蚀刻面激光器的光。晶圆探针对仍然位于晶圆之上的激光器进行光-电流-电压测试。

光-电流-电压（LIV）测试对所有激光器类型都是通用的。激光先由透镜收集，然后导向检测器进行光强测量。对于边发射型蚀刻面激光器来说，一般透镜只收集一部分激光，因此实际光功率还要通过校准因素确定。可以在不同电流和温度下进行全谱测试，确保器件在整个工作温度范围内具有所期望的性能。在这个案例中，来自透镜的激光被导向光谱分析仪。最后，针对低温情况，测试装置中还要增加一个透明的小室，并在这个小室中充满氮气，防止低温条件下在晶圆上形成冷凝水。

未来就在眼前

发挥出硅光子应用应有的巨大潜力有多种不同的方法，它们都有各自的好处和挑战，取决于具体的使用。最终只有设法克服成本、良率和性能障碍才能在这个新兴行业中取得成功。提供已知合格芯片的激光器的能力将成为公司脱颖而出的一个重要因素。