测试应用快速扩大阵列持续推动源测量单元仪器技术

自20年前推出SMU以来，源测量单元(SMUs)已演变成一个多用途的仪器类别，人们经常要求SMU解决电子行业应用的快速扩大阵列：

　　•半导体设备制造，工艺开发和产品研发/设计

　　•电子产品的生产验证，如便携式无线设备

　　•器件所需新型先进材料的生产和开发，如太阳能电池和高亮度LED

　　•几乎所有电子设备的测试应用程序

　　在探讨定义SMU技术因素之前，精确定义SMU是什么(不是什么)会很有帮助。本质上讲，SMU是快速响应、能够回读电压和电流的源，具有高精度测量的能力，紧密地集成在单封闭机箱内。它们设计用于线路和设备评估，必须在测试设备上(DUT)施加一个直流信号，并且需要对被测信号做出响应。SMU具有四象限运行(图1)的能力，作为正负直流电源或吸收(负载)。它们还提供高度可重复的测量，通常具有5½-或6½-的数字分辨率。 SMU通常对用于确定被测设备I-V特性的电流和电压进行扫描。由于这些优势，SMU已被广泛地应用在工业领域，并且是许多自动化测试系统的通用部件。

　　图1 四象限SMU设计

　　有些主张与此相反，认为传统仪器在测试与测量行业仍然是一个重要的、逐渐增多的部件。虽然特定的通信接口(GPIB，RS - 232等)可能会随着时间的推移而过时，但是在系统中单独使用或与其它SMU集成使用的基于仪器的SMU，通常为宽范围需求的应用提供最快、最准确、最灵活的解决方案。"部件"SMU往往牺牲他们的性能以提供一个特定的外形因子。

　　最宽的可用功率和信号范围

　　针对多类型装置的测试，期望测试设备具有工作在宽范围信号等级的能力。例如，功率MOSFET导通时的电阻非常低，通过极大的电流，但是关断时的电阻非常高，并允许流过几乎为零的电流。MOSFET处于开通状态时，电流高达几十安培，关断时电流可能小于纳安培。功率二极管和高亮度发光二极管具有相似的动态范围要求，其全部特性也相似。对于这类器件，当施加的正向偏置电压低于阈值电压时，流过器件的电流非常低。当电压从0V至阈值电压扫描时，器件的电流从亚纳安范围上升到毫安级。当偏置电压达到并超过阈值电压时，测试电流快速增加，达到几十甚至几百安培，这个电流值取决于设备。期望测试设备能在宽范围内具有精确测量的能力，这样可以减少所需测试设备的数量，从而降低系统的复杂性和成本。

　图2 吉时利SMU和竞争对手的动态范围比较

　　吉时利数字源表®仪器结合了大部分单一仪器最宽范围信号的最大能力。型号2651A高功率源表可提供高达200W的直流电源和2000W的脉冲功率。它可以测量高达50A的电流，具有最大分辨率为1pA的测量能力。型号2636A动态范围上领先于行业，具有测量10A降至1fA信号的能力，提供160位电流分辨率。

　　一些基于SMU仪器的竞争对手宣称，型号2636A双通道系统源表仪器具有相同的动态覆盖范围，测量10A降至10fA的信号。然而，当比较每一个SMU(图2)测量范围时，很明显型号2636A在电流幅值上比竞争产品低两个数量级。这意味着型号2636A不是必须依赖其测量范围的最低有效位和最低精度位来实现真正的宽动态范围。对于仪器用户，在低电流测量的准确度方面提供了更大的信心。

　　部件SMU的供应商也宣称他们的宽范围覆盖性。然而，这些外形因子限制了他们的动态范围，使其比基于SMU的Keithley仪器小几十倍。在高端范围，他们受限于设备能够提供多大的功率，大多数部件SMU最大输出100mA的电流。在低端范围，对于各种实际的低压测量，所有设计在较小空间、具有不充分屏蔽的线路的电磁干扰会产生过多的电噪声。结果就是通常看不到部件SMU的任何电流低于10微安。

　　最快的模数转换器

　　测试设备制造商总是尽力推动从SMU每秒读出更多的读数。SMU的数字引擎得到升级，通信信道的带宽增加，但最终提高速度最有效的方法就是降低测量本身的时间。由于卓越的抗噪能力，大多数SMU使用积分模数转换器(ADC)来进行测量，并可以更好的获得精确的高分辨率结果。然而，从积分ADC得到的测量的质量直接与时间相关，因为它被迫运行的很快，因此测量的质量被降低。

通过将输入信号的值转换为输入电压电平给电容充电的时间和反极性参考电压给电容放电的时间之间的关系，那么积分ADC能够产生杰出的测量结果。对于一个标准双斜率积分ADC，这种关系表示为Vin = VREF(td / tc)，其中Vin是被测信号，Vref是参考电压，td是电容放电时间，tc是电容充电的时间。通过对电容充电一段时间，输入信号的噪声尖峰经过平均后输出，因此在测量中最大程度地减少了噪声，提高了精度。对充放电周期中固定速率时钟的时钟周期进行计数，以此来测