什么是离子注入技术
时间:04-27
来源:21IC
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2.3 在SOI技术中的应用
由于SOI技术(Silicon-on-Insulation)在亚微米ULSI低压低功耗电路和抗辐照电路等方面日益成熟的应用,人们对SOI制备技术进行了广泛探索。
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