Kelvin四线连接电阻测试技术及应用

　　在这种情况下可以采用一种变形的开尔文连接方式来进行测试，不再使用隔离方法。它仍采用四根线，但根据需要将其中一对或两对F，S线分开接在不同的点上来进行测试。这种方式称为分离开尔文连接方式。本例中三个电阻要进行四次测试才能计算出它们的阻值，四次测试的接法分别见图6中的表，图中1,2,3点为连接点。图6-(b) 接法可直接测出R1的值；图6-(c)可测出 R2与R3的并联值R p；图6-(d)和图6-(e)分别测出阻值R2 ′和R3′。分析可知

　　R2′/R 3′=R2/R3 ，1/Rp=1/R2+1/ R3；由此可以解出R2 =Rp×(1+R2′/ R3′)，R3=R 2×R3′/R2 ′。

　　在测试中还常常遇到被测电阻的两端都没有测试点，隐藏在电阻网络中的情况，如R-2R网络。这时也需要使用分离开尔文连接来进行测试。

　　6 极小值电阻的测量技术

　　对于极小阻值范围的电阻测量可以采用图7所示电路完成，它可以测量10～ 80mΩ的电阻。通过差分运算放大电路，把被测电阻产生的微弱电压信号放大100倍，因此实际电阻值是测量值要除以100。图中运放UI采用低噪声、高速、精密运放，如OP-37EJ，AD645或MAX400。和高电位施加线（HF）串联的电阻R1是用来匹配电流施加模块的最佳输出负载，R2到R5采用高精度高稳定性的电阻来保证差放电路增益的稳定，这决定了测量的精度和重复性。为了保证精度，对运放的电源电压要求很高，电路的安装位置要尽可能靠近被测电阻，所有探头要尽可能短，C2，C3要尽可能靠近运放。

　　7 结束语

　　由于自动测试中要不断地改变被测电阻，同时又要根据情况灵活地选择测试方法和连接方式 ，因此实际生产中是使用探针卡将被测电路与系统相连，通过继电器或FET开关组成的开关矩陈由软件适当切换来提高测试速度和生产效率。同时在不同的测量中探针采用不同的接法，如直线四探针法和方形四探针法，可克服各种因素的影响，优化测量结果[2]。如上所述，只要我们结合被测电阻的具体情况，灵活合理地应用上面介绍的测试技术，就可以得到满意的测试结果。制造出高质量的厚、薄膜集成电路和片式电阻来。