东方集成完成国内带LOADLOCK的SI500D等离子沉积系统首次安装

2012年3月，东方集成在上海某研究所成功安装了SENTECH SI500D等离子体沉积系统。SI500D等离子沉积系统是ICP-PECVD设备，应用高精密表面处理技术，通过感应耦合等离子化学气相沉积生成绝缘薄膜，对于III-V族和硅族材料的硅烷基沉积处理性能优异。即可用于批量生产，也可用于研究所等科研机构。SI500D的杰出性能主要在于其平面感应耦合等离子源和配备氦冷却系统的基板电极，通过在80℃到350℃之间进行感应耦合等离子化学气相沉积，即可得到高质量的SiO2、SixNy、SiOxNy 薄膜。且沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。

据东方集成专家透露，这是带LOADLOCK的SI500D等离子沉积系统在中国的第一次安装。借助SENTECH专利平面三重螺旋天线（PTSA）感应耦合等离子源。可产生较高的等离子传输功率、较高的稳定性、可靠的低压触发特性和良好的均匀性。同时，通过专用等离子处理系统操作软件，直观的用户界面可自动快速、灵活地编写、执行和监测整个加工过程。此次SENTECH ICP-PECVD设备的安装，由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成，由SENTECH和东方集成共同承担售后保修，具有标志性的历史意义。

本次的安装，体现了东方集成为客户考虑，将工作做完美的一贯宗旨；也标志着，SENTECH中国区等离子体刻腐蚀和沉积系统业务在与东方集成的合作中进入了飞速、稳定的发展。

关于东方集成

北京东方中科集成科技股份有限公司（简称"东方集成"）是在中关村科技园区注册的高新技术企业，是中国电子测试与科学分析领域领先的综合服务商，是SENTECH中国区的重要战略合作伙伴。

"东方集成"总部设在北京，在上海、南京、苏州、深圳、武汉、西安、成都等地设有分支机构，拥有一支超过200人的专业团队。通过与业务伙伴的紧密合作，凭借覆盖全国的营销服务网络，致力于为客户提供专业、方便、快捷的本地化服务。

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