Kaigham Gabriel:MEMS推动半导体产业进入更光明的未来

根据日前举办的PCI特殊兴趣小组(PCI SIG)开发商大会的简报和展示，PCI Express|0">

此在1990年担任东京大学的客座教授，并在IBM的东京实验室、理光中央研究所(Ricoh Central Research)和丰田中央研究所(Toyota Central Research)管理多个MEMS开发计划。

"当时美国担心日本在技术上超越自己，"Garbriel表示，"因此，当我在1991年离开贝尔实验室到海军研究实验室教授MEMS时，Darpa发现我曾在日本的MEMS工作经验，因此在1992年雇用我为其研究MEMS，目标是保持领先于日本的技术。"

日本的国际贸易产业省(后更名为经济产业省)当时刚开始启动为期10年的‘MEMS和微机械’发展计划。但是，日本从未成为美国所担心的MEMS强势对手。Gabriel指称，那是因为日本走了错误的发展路线。

"日本把MEMS视为微型化的一种延伸，他们的目标只是要获得更高的精确度，"他指出，相反地，"我之所以看重MEMS，是因为它能使用半导体制造技术来建立机电结构，并可充分利用全球半导体产业的所有相关制造、材料和控制知识。"

Gabriel离开Darpa后加入卡内基梅隆大学电子工程与机器人的共同研究任务。就在那儿，他开发出其后成为Akustica公司MEMS组件基础的智财权。

Gabriel于2001年12月与人合伙成立了Akustica公司，并将他在大学中所作的麦克风设计导入商用化。虽然这是Gabriel所做的开发工作，但与MEMS麦克风有关的四个原始专利权仍属于卡内基梅隆大学所有。Akustica公司必须获得这所大学的授权。

未来发展方向

除了麦克风以外，Akustica公司还看好其它MEMS芯片未来在消费性产品的应用，如惯性、导航和射频组件。因为这些组件的MEMS芯片采用常见于大多数代工厂的标准CMOS生产线制造，因此该公司宣称，随着制程尺寸向更先进节点发展，所有的MEMS产品尺寸将变得更小，并使其从规模经济中受益。

"整个MEMS市场将十分巨大，麦克风只是一个开始，"Gabriel认为，"从设计工具到代工厂再到自动化测试，Akustica公司的CMOS MEMS技术平台由于发挥了全球半导体产业的优势，也正在悄悄改变MEMS传感器开发和投入市场的方式。"

消费性产品将可能整合多个MEMS组件，其中某些组件可能在同一平台上应用在不同的用途上。例如，行动电话上的加速计可透过倾斜而用以卷动面板选项，当不在无线服务区时则可实现导航推算，也适用于内建相机的影像稳定，甚至可在手机掉落时完成自动关机动作。

"惯性MEMS传感器(主要是三轴加速计)正被越来越多的行动电话用来实现影像稳定、游戏、自然用户接口、位置追踪(增强型GPS)和系统保护，"Gabriel说，"MEMS组件将在所有可携式电子设备中找到其立足之地。随着这些设备尺寸越来越小，同时又要求更多的功能性，MEMS产品解决方案将充满商机。"

Gabriel认为，MEMS具有更低建置成本、更佳性能和更高可靠性等优势。例如，"在PC麦克风数组市场，Akustica公司的VoIP和其它语音应用都具有很好的语音质量，以及更简化的系统设计与制造、更低建置成本与更高可靠性。"他说，"就其本身而言是极具竞争力的。"

再者，他指出，"因为Akustica公司也与编译码器制造商和PC市场上的多家领导公司保持密切合作关系，能为用户提供完整产品解决方案，这也是OEM厂商所企盼的重要因素。"